管理解決方案分子污染（計量和過程） 該中*開發(fā)的真空泄漏檢測和管理解決方案，分子污染的新概念。
③用于通過M12插頭控制PentaLine和adixen前級泵（ACP系列） ④用于通過絞合線控制前真空安全閥
閥在斷電時切換到起始位置（機械返回式彈簧） 在電源故障時由機械返回式彈簧復(fù)位
適用于雙作用執(zhí)行機構(gòu) 自由交叉式切換
自由交叉式切換，即便在供氣面積很小時也能保證切換功能 即便在電源故障時也能提供安全保障 (單穩(wěn)態(tài)設(shè)計) 帶制動裝置的手動應(yīng)急控制
與手動平衡的兩向或三向控制線圈相比，AutoFlow單元通過防止溢出來節(jié)省額外的泵能量。
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